克日 ,毅往事毅告竣本实现对于无锡星微科技有限公司(如下简称“星微科技”)的毅往事投资 。这也是毅往事毅告竣本自2021年初次投资后,对于星微科技实施的毅往事第二轮投资。
星微科技建树于2015年 ,毅往事主要面向半导体配置装备部署规模提供详尽行动操作产物;2017年开始晶圆传输零星产物的毅往事妄想研发;2019年研发破费晶圆传输零星中间产物晶圆传输机械臂;2020年起,公司的毅往事详尽行动平台及传输零星在半导体量检测类、泛半导体详尽制作等配置装备部署实现批量出货。毅往事
“半导体配置装备部署由数不胜数的毅往事零部件组成,这些零部件的毅往事功能、精度,毅往事直接影响着配置装备部署的毅往事坚贞性以及晃动性,也是毅往事我国在半导体制作能耐回降级迭代的关键因素。”星微科技董事长陆敏杰介绍,毅往事公司从一起头就抉择超详尽行动平台以及晶圆传输配置装备部署两大中间产物,毅往事助力被“洽谈”的半导体配置装备部署的国产化